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? 無氧烘箱

產品簡介

產品規格

一、產品特點及用途

     1.產品特點

       該設備是一種新型工業級干燥設備,采用長軸耐高溫大功率軸流風機,不銹鋼渦輪扇葉,結合獨特設計風道,智能PID溫控器結合SSR固態繼電器控制高效不

       銹鋼發熱器加熱,形成溫度均勻的高溫熱風,對箱體內部進行加熱,確保烘箱內部達到理想的溫度環境。

     2. 產品用途

       產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。


二、產品詳細參數;

1.箱體結構

     1.1.內部材質:采用SUS304#日制800番1.5mm厚之鏡面不銹鋼板,滿焊處理,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE。

     1.2.外部材質:外部采用1.2mm厚優質冷軋鋼板經防銹處理后噴塑,耐刮傷,造型美觀。

     1.3.保溫材質:采用100K高級保溫棉,六面保溫斷熱,保溫厚度為80mm-120mm,保溫性能好。

     1.4. 箱門結構:箱門于箱體結合處采用耐高溫硅橡膠條密封迫緊,保溫性能好,抗老化,環保無污染。

     1.5. 載物層架:可根據物品大小調節層間距,空間利用率高。

2. 溫度控制系統:采用日本三菱PLC+7寸彩色觸摸屏人機交互界面,定值/程序(程控100段)兩種控制模式,帶傳感器斷線報警功能,帶超溫警報保護功能,確

        保產品運行安全。

3. 控溫方式

     3.1.訊號來源:采日制進口CA感應棒±0.5%。

     3.2.輸出被控組件:SSR固態無節點輸出,確保加熱功率精準。

4. 箱內熱風循環系統

     4.1. 送風方式:箱內采用單向水平運風,兩側風道內強壓送風。

     4.2. 風道結構:風道兩側采用高密度沖孔風板,精準控制導流板角度,確保箱內溫度均勻性。

     4.3. 送風裝置:采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉,渦輪經水平糾正處理,確保運風平穩 ,噪聲≤65dB。

     4.4. 送風裝置安全保護系統:帶超溫過載過流保護功能,確保馬達及風機的使用壽命和安全性能。

     4.5電加熱系統:采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發生器,潔凈不產塵(無縫潔凈不銹鋼覆套,高絕緣導熱改性氧化鎂澆筑,無名火,安全不漏電)

5.氧含量控制系統

    5.1氮氣排氧控制系統采用雙路氮氣導入回路,各向箱內提供100L/min + 200L/min的氮氣,每路配套進口電磁閥,雙流量自動切換,在箱內達到無氧環境

       后,自動切換至低流量氮氣,大大節省氮氣消耗量,也可根據工藝制程要求,自行設定,滿足多種工藝需求。

    5.2 排氧時間≤30 min,帶耐高溫氧含量控制儀,氧化鋯氧含量傳感器,耐高溫自吸泵一套,可實時檢測氧含量并顯示實際數值,配備氧含量超標報警功能。

6.整機安全保護系統

    6.1. 采用三重超溫保護系統,確保箱體在運行過程中的整體安全性能(詳見技術參數)。

    6.2. 箱體內部電器保護系統(確保箱體內部電器運行平穩,安全可靠):

    6.2.1.超溫防止器(獨立限溫,超溫斷電);

    6.2.2.相序保護(欠壓欠相保護);

    6.2.3.馬達過電流保護;

    6.2.4.控制線路保險絲;

    6.2.5.電熱過電流保護;

    6.2.6.無熔絲開關。

無氧烘箱規格一覽表:

型號GRD180NWDGRD360NWDGRD480NWDGRD800NWDGRD1000NWD
溫度范圍RT(常溫)+10~200℃/250℃/300℃ (可訂制最高溫度600℃)
溫度分辨率0.1℃
溫度波動度±1.0℃
溫度均勻性≤±1.5%
                    氧含量                                                 20ppm/50ppm/100ppm/2000ppm
容積180L360L480L800L1000L
內膽尺寸(寬W*深D*高H)mm600×500×600600×600×1000800×600×10001000×800×10001000×800×1200
外部尺寸(寬W*深D*高H)mm960×690×1460960×790×17801160×790×17801320×1050×17801320×1050×1980
層板數量2塊2塊3塊3塊4塊
功率5KW7.5KW9KW12KW15KW
電源電壓AC 380V 50HZ(三相五線制)

備注: 1. 以上所有機型外觀尺寸僅供參考,實際尺寸以實物為準;

           2. 產品內部尺寸可根據客戶要求進行非標定制。 


選配組件:

   1.程序多段控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實現100段程序控溫。

   2.測試孔:可在側面加裝Φ50mm測試孔。

   3.無紙多點溫度記錄儀:可配置無紙多點溫度記錄儀(4/6/9/12通道),可實時監控記錄溫度變化.

   4.快速降溫功能:風冷+水冷。

   5.可加裝MES系統。


內外融合的先進技術

公司引進日本技術,結合國內使用特點研發一系列控溫控濕存儲設備,做到了國外一流技術與國內先進制造技術的完美結合。?產品通過CE、ROHS等認證,大部分產品擁有自主知識產權,獲得多項國家專利,性能達到國際領先水平。

高于同行的設備品質

核心原配件均來自honeywell、西門子、施耐德、三菱等國際知名品牌。整機使用壽命10年以上;氮氣使用量節約50%以上,除濕效率高;采用優良不銹鋼內膽,耐腐蝕、耐高溫。

先進進口的生產設備

采用瑞士生產激光切割機設備和日本進口的AMADA板金設備、數控折彎機、數控沖床、剪板機等生產設備,制作精度高;焊接采用芬蘭和日本進口氣體保護焊、氬弧焊機,柜體密閉性好。

立足客戶的售后服務

根據客戶需求及時交貨不影響客戶使用
達不到使用要求,免費退貨
產品整機保修,質保期內,免費更換元器件
深圳、廈門及全國各大城市均有售后網點

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